☆ 4.6 Article

High power impulse sputtering of chromium: correlation between the energy distribution of chromium ions and spoke formation

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS (2015)

期刊

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS

卷 48, 期 29, 页码 295202

出版社

IOP Publishing

DOI: 10.1088/0022-3727/48/29/295202

关键词

-

类别

Physics, Applied

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