4.5 Article

Photopolymerization Inhibition Dynamics for Sub-Diffraction Direct Laser Writing Lithography

期刊

CHEMPHYSCHEM
卷 13, 期 6, 页码 1429-1434

出版社

WILEY-V C H VERLAG GMBH
DOI: 10.1002/cphc.201200006

关键词

lithography; polymerization; resolution; sub-diffraction; triplet state

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