☆ 4.8 Review

Atomic Layer Deposition: An Overview

CHEMICAL REVIEWS (2010)

期刊

CHEMICAL REVIEWS

卷 110, 期 1, 页码 111-131

出版社

AMER CHEMICAL SOC

DOI: 10.1021/cr900056b

关键词

类别

Chemistry, Multidisciplinary

资金

National Science Foundation
Air Force Office of Scientific Research

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