☆ 4.8 Review

Supercritical Fluids for the Fabrication of Semiconductor Devices: Emerging or Missed Opportunities?

CHEMICAL REVIEWS (2010)

期刊

CHEMICAL REVIEWS

卷 110, 期 1, 页码 459-478

出版社

AMER CHEMICAL SOC

DOI: 10.1021/cr900255w

关键词

类别

Chemistry, Multidisciplinary

资金

National Science Foundation [CMMI-0531171, CBET-0529034]

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