4.8 Article

First-Principles Simulations of Conditions of Enhanced Adhesion Between Copper and TaN(111) Surfaces Using a Variety of Metallic Glue Materials

期刊

ANGEWANDTE CHEMIE-INTERNATIONAL EDITION
卷 49, 期 1, 页码 148-152

出版社

WILEY-V C H VERLAG GMBH
DOI: 10.1002/anie.200905360

关键词

aggregation; atomic layer deposition; copper; interfaces; surface chemistry

资金

  1. National Natural Science Foundation of China [20873127]
  2. Air Products and Chemicals, Inc.(USA)

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