☆ 3.8 Article

Physical Mechanisms of SiO$_{2}$ Target Sputtering with Accelerated Ions of C$_{60}$

METALLOFIZIKA I NOVEISHIE TEKHNOLOGII (2016)

期刊

METALLOFIZIKA I NOVEISHIE TEKHNOLOGII

卷 37, 期 6, 页码 775-788

出版社

Co. Ltd. Ukrinformnauka

DOI: 10.15407/mfint.37.06.0775

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