☆ 4.3 Article

Subsurface-damaged layer in (010)-oriented β-Ga2O3 substrates

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS (2020)

期刊

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

卷 59, 期 12, 页码 125503

出版社

IOP Publishing

DOI: 10.35848/1347-4065/abcb1c

关键词

-

类别

Physics, Applied

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