4.4 Article

Top-down NANOMANUFACTURING

期刊

PHYSICS TODAY
卷 67, 期 12, 页码 45-50

出版社

AMER INST PHYSICS
DOI: 10.1063/PT.3.2621

关键词

-

资金

  1. NSF
  2. Civil, Mechanical, and Manufacturing Innovation Division
  3. Directorate For Engineering
  4. Div Of Civil, Mechanical, & Manufact Inn [1361948] Funding Source: National Science Foundation

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